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豆辞典 電荷の堆積で生じる像障害 帯電(チャージ・アップ)現象

2023年04月26日(水) AM5:00 [有料会員限定]264文字

 非導電性試料に電子線を照射すると、像観察中に試料表面に電荷が堆積され、その部位の電位が変化してしま…

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